国产一级特黄毛片-国产一级特黄全黄毛片-国产一级特黄特色aa毛片-国产一级特黄一级毛片-免费级毛片-免费精品

免費咨詢熱線

13853766211

技術文章

TECHNICAL ARTICLES

當前位置:首頁技術文章硅片甩干機作業主要操作內容

硅片甩干機作業主要操作內容

更新時間:2024-03-21點擊次數:2641
  硅片甩干機也稱為晶圓甩干機或SRD(spin rinse dryer),是一種用于半導體制程中清洗后干燥晶圓的設備。其工作原理主要是利用離心力和揮發性有機溶劑來干燥硅片,它是半導體制造過程中不可少的設備,對于保證產品質量和提高生產效率具有重要作用。
 
  1.離心力脫水:硅片在濕化學過程后需要清洗和干燥,SRD通過高速旋轉的離心力將硅片上的水分甩出,實現快速脫水。根據晶片運動方式的不同,離心甩干可以分為立式和水平式兩種類型,二者雖然在工藝上有所差異,但脫水原理相似。
 
  2.IPA蒸汽干燥:IPA(異丙醇)因其揮發性強和混溶性好的特點,常用于晶圓的干燥過程。IPA可以與水混溶,并在一定的條件下迅速揮發,帶走混合液體中的水分,從而干燥晶圓。這種方法對微細結構友好,避免了機械力可能導致的晶圓破壞,并且可以減少顆粒污染。但需要注意的是,IPA易燃,操作時需遵守安全規定并確保良好通風。
 
  3.自動化設備設計:電氣系統通常采用變頻器調速和PLC控制,以確保操作的穩定性和可靠性。機械部分設計要求能夠適應不同尺寸的電池片,并在高速旋轉和特大離心力的作用下保持穩定。
硅片甩干機
 
  一、硅片甩干機的開機
 
  1.打開氣閥,然后合上總電源開關、及各個主電源開關;
 
  2.打開操作屏左側的電源啟動按鈕蓋,按一下操作屏左側上的紅色“電源”按鈕,打開操作屏電源。
 
  二、硅片甩干機的基本操作
 
  1.點擊“手動畫面”進入手動調試畫面,該畫面有“低速關/開、高速關/開”按鍵。在參數設定畫面設定好低速噴水轉速和高速噴氮轉速后,在手動調試畫面調試電機離心轉速情況。
 
  2.點擊“參數設置”按鍵彈出“請輸入密碼:“”。點擊“”鍵,彈出數字鍵輸入密碼“123456”后點擊數字鍵上的“ENT”鍵確認后再點擊“進入”按鍵打開參數設置畫面進行“低速噴水時間、高速噴氮時間、低速噴水轉速、高速噴氮轉速、參數復位、加熱關/開、自動關/開”等設置。
 
  3.設置溫度,按溫控儀上的上下調整按鈕進行工藝溫度設定。
 
  4.按一下操作面板上的“開門”按鈕,甩干機操作屏首頁畫面上的“鎖關”轉換成“鎖開”,甩干機門打開。
 
  5.兩手同時按下操作面板上的“關門”按鈕,甩干機操作屏首頁畫面上的“鎖開”轉換成“鎖關”,甩干機門關閉。
 
  6.按一下操作屏上的“啟動按鈕,自動運行甩干機。
 
  7.點擊“報警記錄”進入報警記錄界面,查看報警記錄。
 
  8.設備運行時出現異常情況,及時按下操作屏右側的“急停”按鈕,松開“急停”按鈕按“急停”按鈕上的箭頭旋轉退出急停狀態。
 
  三、硅片甩干機的關機
 
  1.按操作屏下的“電源”按鈕,關閉操作屏電源。
 
  2.關閉氣閥、然后關閉總電源開關及各個主電源開關。

手機瀏覽

服務熱線

0537-2286761

山東省濟寧市任城區安居街道張橋村東300米

lcluchao@126.com

Copyright © 2025 山東濟寧魯超超聲設備有限公司 All Rights Reserved    備案號:魯ICP備16045956號-2

技術支持:化工儀器網    管理登錄    sitemap.xml

主站蜘蛛池模板: 综合色婷婷| 国产99在线 | 免费精品精品国产欧美在线 | 欧美在线亚洲 | 欧美色道 | 老司机午夜网站 | 亚洲午夜精品久久久久久app | 人人做人人爽人人爱影视 | 日本高清免费一本视频在线观看 | 波多野结衣久久 | 美女薄情馆 | 日韩精品毛片 | 天天拍夜夜操 | 丁香婷五月 | 国精产品一二二区视频 | 女网址www女视频 | 性一交一乱一伦一色一情 | 国产1级 | 日本三级欧美三级 | game center怎么改名字 | 中文字幕人成乱在线视频 | 国产婷婷色 | 亚洲天堂视频在线免费观看 | 欧美日韩精品高清一区二区 | 天天搞天天 | 国产手机免费视频 | 天天综合网天天综合色不卡 | 人人人人人看碰人人免费 | 欧美精品第1页在线播放 | 国产三级日本三级韩国三级在线观看 | 欧美激情视频一区二区免费 | 99re在线视频 | 成人年鲁鲁在线观看视频 | 国产麻豆精品一区 | 欧美色鬼| 亚洲va在线va天堂va888www | 99视频国产精品免费观看app | 性一交| 成人免费毛片网站 | 韩国xxxx色视频免费 | 国产日韩精品一区在线观看播放 |